根据《海南大学科技成果转化管理办法》（海大党政办（2025）49号）规定，经海南大学科技园管理中心审核同意，对“半导体光学精密量测技术产业化”成果转化相关事项公示如下：
一、成果名称及简介：
该成果包括发明申请权7项，具体如下：
（一）成果一
（1）成果名称：3D NAND刻蚀孔径关键尺寸测量方法及装置
（2）成果类型：发明专利
（3）成果编号：CN202511416683.3
（4）成果完成单位：海南大学
（5）成果完成人（团队）：梁伟、杨德坤、李灵杰、潘奕池、韩非、张豪康、徐义磊
（6）成果简介：本申请提供了一种3D NAND刻蚀孔关键尺寸测量方法及装置，可以实现对复杂结构的无损测量，还可确保测量效率及测量精度。
（二）成果二
（1）成果名称：一种微通孔结构的散射测量方法
（2）成果类型：发明专利
（3）成果编号：CN202511324542.9
（4）成果完成单位：海南大学
（5）成果完成人（团队）：杨德坤、潘奕池、梁伟、张豪康、李灵杰、韩非、徐义磊
（6）成果简介：本申请提供了一种微通孔结构的散射测量方法，属于半导体制造技术领域，能够实现对高深宽比微通孔结构进行定点测量，提高测量的灵敏度和精确度。
（三）成果三
（1）成果名称：微通孔结构的散射测量方法及系统
（2）成果类型：发明专利
（3）成果编号：CN202511324543.3
（4）成果完成单位：海南大学
（5）成果完成人（团队）：潘奕池、杨德坤、梁伟、张豪康、李灵杰、韩非、徐义磊
（6）成果简介：本申请提供了一种微通孔结构的散射测量方法及系统，属于光学测量技术领域，能够在保证测量效率较高的同时，提高测量的精确度和可靠性。
（四）成果四
（1）成果名称：MBE过程中纳米线掺杂的原位监测方法及装置
（2）成果类型：发明专利
（3）成果编号：CN202511416681.4
（4）成果完成单位：海南大学
（5）成果完成人（团队）：杨德坤、梁伟、潘奕池、张豪康、李灵杰、韩非、徐义磊
（6）成果简介：本申请提供了一种MBE过程中纳米线掺杂的原位监测方法及装置，在MBE生长过程中，实时获取掺杂温度及角分辨反射率信息，并根据掺杂浓度预测模型预测掺杂浓度。
（五）成果五
（1）成果名称：基于平面波导的角分辨散射测量的离焦校正方法及系统
（2）成果类型：发明专利
（3）成果编号：CN202511221382.5
（4）成果完成单位：海南大学
（5）成果完成人（团队）：梁伟、杨德坤、徐义磊、潘奕池、李灵杰、张豪康、韩非
（6）成果简介：本申请提供了一种基于平面波导的角分辨散射测量的离焦校正方法及系统，通过特征暗环识别实现离焦角度畸变补偿，结合参考样品反射特性建立反射率测量误差补偿机制，提高了纳米薄膜的测量精度。
（六）成果六
（1）成果名称：基于角分辨散射测量实现光存储的方法及装置
（2）成果类型：发明专利
（3）成果编号：CN202511416739.5
（4）成果完成单位：海南大学
（5）成果完成人（团队）：杨德坤、梁伟、韩非、潘奕池、李灵杰、张豪康、徐义磊
（6）成果简介：本申请提供了一种基于角分辨散射测量实现光存储的方法及装置，可以较高精度且较快速度的读取存储介质存储的信息。
（七）成果七
（1）成果名称：基于角分辨散射的相变薄膜材料折射率的测量方法及装置
（2）成果类型：发明专利
（3）成果编号：CN202511416587.9
（4）成果完成单位：海南大学
（5）成果完成人（团队）：杨德坤、张豪康、沈重、潘奕池、梁伟、李灵杰、韩非、徐义磊
（6）成果简介：本申请提供了一种基于角分辨散射的相变薄膜材料折射率的测量方法及装置，通过拟合实验数据与仿真数据，从而提升计算得到的折射率的准确度。
二、拟交易价格
转让费：40万元
三、价格形成过程
经成果完成人与出资方芯见微（杭州）半导体科技有限公司协商，双方同意该成果以作价40万元买断。
特此公示，公示期15 日， 自2026年11月3日起至2026年11月17日。如有异议，请于公示期内以书面形式实名向学校成果转化办公室反映。
联系人：王老师
联系电话：0898-66190627
海南大学科技园管理中心
2026年11月3日
海南大学
海南大学